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多晶硅按純度分類可以分為冶金級（工業硅）、太陽能級、電子級。
1、冶金級硅（MG）：是硅的氧化物在電弧爐中被碳還原而成。一般含Si 為90 - 95% 以上，高達 99.8% 以上。
2、太陽級硅 (SG)：純度介于冶金級硅與電子級硅之間，至今未有明確界定。一般認為含Si在 99.99 %– 99.9999%（4～6個9）。
3、電子級硅（EG）：一般要求含Si > 99.9999 %以上，超高純達到99.9999999%～99.999999999%（9～11個9）。其導電性介于 10-4 – 1010 歐厘米。
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